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氦质谱检漏仪，EBARA真空泵，普发检漏仪，普发真空泵，inficon，压力控制器

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MKS质量流量计 MKS电源 MKS其他产品

产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	质谱分析仪	Micro Vision2 产品的技术是基于MKS残余气体分析质谱传感头和气体监控系统的核心技术，利用先进的射频电路模块和数据采集电路?？椋哂?的性能，为要求严格的应用所需，双CPU提供了高稳定的运行，快速和宽范围的动态扫描，使得工艺偏差和气体成分改变的监测变得很容易及*的通讯功能。灵活的输入输出性能，易与机台和其他传感器连接。质量数范围：1-300可选，双检测配置。 eVision 2 基于以太网的低成本的残余气体分析仪。利用Web浏览器或通过EasyView软件方便地操作系统。质量数范围：1-200可选，双检测器配置可选。
	MASS-FLO系列金属密封质量流量控制器	MASS-FLO系列金属密封质量流量控制器
	ENI射频电源阻抗匹配器	ENI射频电源阻抗匹配器
	臭氧发生器	SEMOZON 臭氧发生器以及集成系统 LIQUOZON Smart臭氧水循环系统
	反应气体发生器	ASTRON系列远程等离子体电源
	MKS 质量流量计	MKS 质量流量计是采用感热式测量，通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量，因为是用感热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果。
	DELTA //流量比例控制器	DELTA //流量比例控制器
	Tru-Flo质量流量检验器	Tru-Flo质量流量检验器
	以压力为基础的流量控制器	以压力为基础的流量控制器
	MASS-FLO 系列橡胶密封质量流量控制器	MASS-FLO系列橡胶密封质量流量控制器
	MF1系列数字质量流量控制器	通用数字质量流量控制器。
	General系列数字质量流量控制器	通用数字质量流量控制器。精度为设定值的正负1%，响应速度快于500毫秒，不同气体以及量程间自由切换。 Ethernet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟和数字（RS-485，DeviceNet，Profibus）通讯接口可选。
	金属密封数字质量流量控制器	新一代多气体/多量程数字质量流量控制器。实时高精度流量控制是基于先进的数字算法技术，提供精度为设定值的正负1%，相应速度快于500毫秒，不同气体及量程间自由切换的优异功能。 Ethernet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟和数字（RS-485，DeviceNet，Modbus/TCP)通讯接口可选。 ALTA 系列金属密封数字质量流量控制器。精度为设定值的正负1%，相应速度快于1秒，不同气体及量程间自由切换。各种模拟和数字（Profibus，DeviceNet）通讯接口可选。
	MKS电源-直流/脉冲功率电源	ENI直流/脉冲电源主要应用于半导体，光电器件，磁盘，平板显示器等工业中的镀膜工艺。
	MKS电源-射频功率电源	ENI提供高可靠性的固态电源，其频率从2MHz到60MHz，功率从3百瓦到13千瓦，还可选自动频率跳鞋，广泛应用于Etch，CVD和PVD等工艺。
	MKS电源-等离子体电源	ASTeX 远程等离子体电源适用于氧气，氮气，氢气，水汽等气体，广泛应用于CVD，ETCH，去胶等晶圆工艺。
	各种真空计	各种真空计
	压力传感器/质量流量控制器电源和显示仪	压力传感器/质量流量控制器电源和显示仪

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