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氦质谱检漏仪，EBARA真空泵，普发检漏仪，普发真空泵，inficon，压力控制器

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产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	MKS电源-直流/脉冲功率电源	ENI直流/脉冲电源主要应用于半导体，光电器件，磁盘，平板显示器等工业中的镀膜工艺。
	MKS电源-射频功率电源	ENI提供高可靠性的固态电源，其频率从2MHz到60MHz，功率从3百瓦到13千瓦，还可选自动频率跳鞋，广泛应用于Etch，CVD和PVD等工艺。
	MKS电源-等离子体电源	ASTeX 远程等离子体电源适用于氧气，氮气，氢气，水汽等气体，广泛应用于CVD，ETCH，去胶等晶圆工艺。

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